近日，中国电科48所自主研发的40台SiC外延炉成功发往客户现场Move in。

　　SiC是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料，在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求日益增加。与硅半导体产业不同，SiC器件必须在外延膜上进行加工，因此SiC外延设备作为第三代半导体SiC器件制造的核心装备之一，在整个产业链中起着承上启下的重要作用。

　　40台SiC外延设备成功在客户现场Move in，有力彰显了48所作为半导体装备“国家队”的使命担当。48所售后服务团队将保持锐意进取、永不懈怠的精神状态，科学谋划、统筹安排，做好设备后续安装、调试等工作，确保设备早日交付验收。

　　（来源/48所 任哲）